Sensör Tipi |
Elektrokimyasal Sensör, Sıcak Tel Yarı-İletken Sensör, Galvanik Sensör, Elektrokimyasal Sensör + Pyrolyzer* |
Ölçüm Tipi |
Örnek akış hızı: 0,5 L/dk, otomatik kontrol |
Ekran |
4 haneli LCD Ekran ile izleme sağlanabilir |
Ölçülebilir Gazlar |
Elektrokimyasal SensörSiH4: 5/25ppm, PH3: 1ppm, B2H6: 500ppb, AsH3: 250ppb, H2Se: 250ppb, Si2H6: 25ppm, SiH2Cl2: 25ppm, GeH4: 1ppm, NH3: 100ppm, HF: 10ppm, PF3: 10ppm, HCl: 5/25ppm, HBr: 10ppm, F2: 5ppm, Cl2: 5ppm, ClF3: 1ppm, O3: 1ppm, CO: 250ppm, H2S: 50ppm
Elektrokimyasal Sensör + Pyrolyzer*NF3: 100ppm, CCl4: 100ppm
Sıcak Tel Yarı-İletken SensörH2: 500/1.000ppm
Galvanik SensörO2: 25 %vol
|
Alarm Seviyesi |
Gaz alarmı (Toplam 2 Aşamalı): Yüksek Gaz Alarmı, Düşük Akış Alarmı, Tıkanma Göstergesi, Sensör Arıza Alarmı, Pyrolyzer* tel kopma alarmı - Ayrıca farklı renklerde, LED Lamba ile durum bildirgesi sunar. |
Çalışma Sıcaklığı/Nem |
0°C ile +40°C arası, %30 ile %85 arası Relatif Nem |
Güç Kaynağı ve Enerji Tüketimi |
24V DC ±%10, ~7W |
Boyutlar ve Ağırlık |
62 x 124 x 143 mm, Ağırlık: ~1,0kg |
Sertifikalar |
CE, SEMI (Semiconductor Equipment and Material Standard) |