CS CLEAN SOLUTIONS · Proses gazı arıtma
CLEANSORB FABLINE FX
Küçük taban alanında kesintisiz çalışma sağlayan entegre yedek (backup) kolon mimarisi
CLEANSORB FABLINE FX, üretim hatlarında kesintisiz gaz arıtımı sağlamak için ek yedek (backup) kolona sahip kompakt bir egzoz gazı temizleme sistemidir. Çift kolonlu modellerin operasyonel süreklilik avantajını daha küçük bir taban alanında sunar. Absorban medyanın zararlı gazları bağlama işlemi pasiftir; kimyasal arıtma reaksiyonu enerji, ısı veya su tüketmez. Sistem durumu ile çalışma modları dokunmatik ekran üzerinden yönetilir ve otomatik gaz purge ile sızdırmazlık testleri uygulanır. Cihaz USB, Ethernet, FTP, NTP ve OPC üzerinden gelişmiş uzaktan bağlantı sağlar. Korozyona dayanıklı 316L paslanmaz çelikten üretilmiştir; entegre fan ve yedekli güvenlikli SEMI-S2 uyumlu sürüm seçenekleri bulunur.
Teknik Özellikler
Küçük taban alanında kesintisiz çalışma sağlayan entegre yedek (backup) kolon mimarisi
Dokunmatik ekran kontrollü tam otomatik gaz tahliye (purge) ve kolon sızdırmazlık testi
USB, Ethernet, FTP, NTP ve OPC protokolleriyle gelişmiş uzaktan veri bağlantısı
Kullanım Alanları
- Duruş kabul etmeyen kesintisiz Plazma Aşındırma ve CVD proses hatları
- Yüksek çalışma süresi (uptime) gerektiren ALD, İyon İmplantasyonu ve CIGS Fotovoltaik süreçleri
Konfigürasyon ve Seçim
Absorberin kimyasal reaksiyonu pasif prensiple çalışır; kontrol, fan ve yardımcı donanımlar enerji gerektirebilir. Kapasite, dolgu seçimi, değişim periyodu ve güvenlik seçenekleri gaz bileşimi, konsantrasyon, debi ve sistem konfigürasyonuna bağlıdır. Seçilen yapılandırmayı NOVEL ve üreticiyle doğrulayın.
- Kolon değişimi sırasında hattın durmaması için kesintisiz yedek kolon şart mı?
- Tesis otomasyonu için Ethernet, OPC veya FTP uzaktan haberleşme gerekli mi?
- Sistem yerleşimi için kompakt taban alanına (footprint) ihtiyaç var mı?