CS Clean Solutions CLEANSORB®, CLEAN-PROTECT ve CLEANVENT ile tehlikeli proses gazlarına karşı doğru arıtma yöntemini seçin. Yarı iletken, MOCVD, CVD/ALD, fotovoltaik, kimya, ilaç ve laboratuvar uygulamaları için kuru yatak chemisorption / dry-bed gas abatement çözümleri sunulur.
Gaz türünüz, proses debiniz ve güvenlik ihtiyacınız için 7 ürün ailesini karşılaştırın; uygun konfigürasyon ve teknik teklif için NOVEL ile iletişime geçin.
CS CLEAN SOLUTIONSFABLINEÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEANSORB FABLINE Serisi – Kuru Tip Endüstriyel Proses Egzoz Gazı Arıtma Sistemleri
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Pilot hatlar ve seri üretime uyarlanan farklı absorber kolon seçenekleri. Plasma etching, CVD, ALD, iyon implantasyonu ve CIGS fotovoltaik süreçlerinde uygun gaz ve debiye göre projelendirme. FABLINE ailesinde korozyona dayanıklı 316L malzeme ve güvenli kolon değişim prosedürleri öne çıkar.
Başlıca uygulamalar
Yarı iletken fabları, ince film üretimi, fotovoltaik prosesleri, endüstriyel gaz çıkışlarının yerinde kontrolü.
Teklif ve mühendislik seçiminde
Gaz kimyası, öncül bileşikler (prekürsörler), akış/debi, konsantrasyon, kolon değiştirme senaryosu, proses çalışma süresi ve yerleşim alanı birlikte değerlendirilmelidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
Yarı iletken ve yüksek teknoloji üretiminde zararlı proses gazlarını kimyasal olarak tutmak için tasarlanmış FABLINE; pilot üretimden fabrika ölçeğine kadar güçlü, düşük yardımcı tesis ihtiyacına sahip kuru yatak çözümüdür.
CS CLEAN SOLUTIONSFABLINE FXÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEANSORB FABLINE FX – Yedek Kolonlu Proses Gazı Arıtma Sistemi
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Yedek absorber kolonu, dokunmatik işletme ekranı, otomatik gaz purge ve sızdırmazlık testi adımları. USB, Ethernet, FTP, NTP ve OPC bağlantı seçenekleri üretici tarafından belirtilir. SEMI-S2 uyumlu versiyon seçeneği vardır; her konfigürasyona otomatik olarak atfedilemez.
Başlıca uygulamalar
Plazma aşındırma, kimyasal buhar biriktirme (CVD), ALD, iyon implantasyonu ve fotovoltaik tesislerde süreklilik odaklı egzoz gazı yönetimi.
Teklif ve mühendislik seçiminde
Yedek kolon geçiş gerekliliği, proses duruş maliyeti, haberleşme arayüzü, egzoz kapasitesi ve sertifikasyon konfigürasyonu teyit edilmelidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
Prosesi durdurmadan absorber geçişini planlayın: FABLINE FX, kompakt yapıda ilave yedek kolonla yüksek süreklilik gerektiren proses egzoz gazı arıtımına odaklanır.
CS CLEAN SOLUTIONSPRIMELINEÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEANSORB PRIMELINE Serisi – Kritik MOCVD ve Yüksek Güvenlikli Gaz Arıtma
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Üreticinin PS ve PD platformları, yedek kolon ve gelişmiş proses güvenliği yaklaşımı içerir. AsH₃, PH₃ veya GeH₄ gibi MOCVD gazlarına uygun özel tutucu ortam seçimi; kızılötesi sıcaklık izleme ve inert gaz soğutma seçenekleri.
Başlıca uygulamalar
MOCVD, III-V epitaksi, özel yarı iletken üretimi, yüksek güvenlik gerektiren proses gazlarının arıtımı.
Teklif ve mühendislik seçiminde
İlgili gaz/prekürsör listesi, sıcaklık ve reaksiyon profili, güvenlik fonksiyonları, kolon değişim sıklığı ve proje kapsamında istenen SEMI-S2 uyumluluğu belirlenmelidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
MOCVD ve hassas yarı iletken üretimindeki kritik gaz akışları için tasarlanan PRIMELINE, gelişmiş ısı ve güvenlik yönetimini çok kolonlu kuru yatak arıtmayla birleştirir.
CS CLEAN SOLUTIONSLABLINEÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEANSORB LABLINE Serisi – Laboratuvar ve AR-GE Gaz Arıtma Kabini
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Küçük absorber kolonu, kompakt havalandırmalı kabin; ortam sıcaklığında pasif çalışma sayesinde deney öncesi ısınma ihtiyacını azaltan yaklaşım. Ön panel izleme, kuru kontak ve dijital sinyal arayüzleri üretici ürününde açıklanır.
Başlıca uygulamalar
Üniversite laboratuvarları, yarı iletken ve malzeme AR-GE merkezleri, pilot deneyler, gaz kabini purge akışları.
Teklif ve mühendislik seçiminde
Deney gazlarının değişkenliği, kimyasal uyumluluk, gaz kabinlerinden gelen akışların toplamı ve laboratuvar havalandırma düzeni değerlendirilmelidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
Ara sıra çalışan laboratuvar deneylerinden günlük AR-GE proseslerine kadar: LABLINE kompakt, havalandırmalı kabin içinde tehlikeli proses gazlarını pasif kimyasal absorpsiyonla tutar.
CS CLEAN SOLUTIONSSTAND-ALONEÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEANSORB Stand-Alone Serisi – Bağımsız Kuru Yatak Gaz Absorber Çözümleri
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Bu başlık, kullanıcı tarafından istenen Stand-Alone ürün grubunun kategori konumlandırmasıdır. Üreticinin güncel sitesinde bu adla bağımsız modelin teknik ürün sayfası doğrulanamadığından kesin boyut, debi, alarm, fan veya sertifikasyon özelliği beyan edilmez.
Başlıca uygulamalar
Kimyasal uyumluluğu ve kapasitesi doğrulanmış küçük/orta ölçekli proses egzozu, mevcut hatlara entegrasyon ve özel absorber projeleri.
Teklif ve mühendislik seçiminde
Stand-Alone varyant/model kodu, gaz karışımı, giriş koşulları, kapasite ve bağımsız kurulum gereksinimi üreticiden yazılı teyit edilmelidir.
Model teyidi: Bu ürün ailesinin tam varyantı ve teknik kapasitesi için üreticiden güncel doküman istenmelidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
Mevcut tesise entegre edilecek kompakt ve bağımsız arıtma konsepti: uygun gazlar için kuru yatak kimyasal absorpsiyon modülleriyle proses gazı bertarafını planlayın.
CS CLEAN SOLUTIONSCLEAN-PROTECTÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEAN-PROTECT CPXXXSF Serisi – Acil Gaz Kaçağı için Kimyasal Absorber
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Üretici, CLEAN-PROTECT ailesinin gaz besleme kabini havalandırma hattına bağlanan, harici enerji gerektirmeyen acil durum kuru yatak absorpsiyon ürünü olduğunu açıklar. AsH₃, Cl₂, HCl, HF, H₂S, NH₃ ve PH₃ gibi birçok tehlikeli gaz için uygun ortam seçimi mümkündür. CPXXXSF tam model kodunun mevcut varyantı henüz doğrulanmadı.
Başlıca uygulamalar
Gaz tüp kabinleri, kimyasal ve yarı iletken proses gaz beslemeleri, beklenmedik salım riskinin bulunduğu emişli dolap sistemleri.
Teklif ve mühendislik seçiminde
Kabin sayısı, acil salım senaryosu, maksimum gaz envanteri, hava çekiş debisi ve absorber değiştirme prosedürü projeye göre doğrulanmalıdır.
Model teyidi: Bu ürün ailesinin tam varyantı ve teknik kapasitesi için üreticiden güncel doküman istenmelidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
Gaz tüp dolaplarında öngörülmeyen tehlikeli gaz salımlarına karşı pasif ikinci koruma: CLEAN-PROTECT, toksik ve aşındırıcı gazları uygun absorber ortamında tutmayı hedefler.
CS CLEAN SOLUTIONSCLEANVENTÜrün grubu simgesi • Fotoğraf değildir
CLEANVENT – Gaz Kabini Purge ve Artık Gaz Temizleme Kartuşları
Ayrıntıları gösterAyrıntıları gizle ▾
Teknoloji ve öne çıkan avantajlar
Uygun kartuş ortamıyla toksik, korozif ve piroforik purge gazları oda sıcaklığında kararlı katı ürünlere dönüştürülerek tutulabilir. Üreticinin sunduğu kartuş ailesi, gaz ve öncül bileşiğe göre seçilir; NF₃ gibi daha kararlı gazlar için farklı ısıtmalı çözüm gerekebilir.
Başlıca uygulamalar
Özel gaz tüp dolapları, gaz manifoldları, tüp değiştirme ve purge işlemleri, laboratuvar/üretim gaz dağıtımı.
Teklif ve mühendislik seçiminde
Hedef gazın kimliği, purge miktarı, ekipman konumu, uygun valf/manifold düzeni, kartuş dolumu ve bakım/bertaraf koşulları gereklidir.
Kaynak: CS Clean Solutions üretici açıklaması ↗
Tüp değişimi sırasında geride kalan tehlikeli gazları kaynağında azaltın: CLEANVENT kartuşları gaz kabini ve özel gaz manifoldlarının purge hatlarında güvenli gaz arıtımı için geliştirilmiştir.
Gaz Arıtma Sistemi Seçim Rehberi
Endüstriyel emisyon kontrolünde en güçlü sistem, uygulamanıza uygun doğru absorber medyası ve proses tasarımıyla elde edilir. CLEANSORB, sabit gaz alarm cihazı değildir; egzoz veya purge gazını kimyasal olarak arıtmayı hedefler.
7 ürün ailesi arasından nasıl seçim yapılır?
Pilot veya seri üretim egzozunda FABLINE; yedek kolona ihtiyaç duyulan hatlarda FABLINE FX; kritik MOCVD uygulamalarında PRIMELINE; laboratuvar ve AR-GE ortamında LABLINE ilk değerlendirme adaylarıdır. Stand-Alone için konfigürasyon üreticiyle teyit edilmelidir.
Tüp kabini güvenliğinde CLEAN-PROTECT ve CLEANVENT nasıl konumlanır?
CLEAN-PROTECT acil gaz salımı için egzoz hattında ikinci koruma yaklaşımına; CLEANVENT tüp değişiminde oluşan purge/artık gazına odaklanır. Birbirlerinin otomatik muadili değildir ve ikisi de alan gaz alarm sistemini ikame etmez.
Doğru kimyasal absorber medya nasıl belirlenir?
Hedef gazın kimyası, SDS/MSDS, gaz karışımı, nem, debi, pik konsantrasyon, reaksiyon ısısı, toplam gaz yükü, rejenerasyon/değişim prosedürü ve egzoz sisteminin statik basıncı analiz edilmelidir.
Türkiye’de keşif ve teknik teklif öncesi hangi bilgiler hazırlanmalı?
P&ID, proses gaz listesi, normal/pik debi, gaz kabini sayısı, çalışma saatleri, mevcut havalandırma ve kaçak senaryoları, gerekli arayüzler, yerleşim ve yerel uygunluk beklentileri teklif dosyasına eklenmelidir.
Proses Gazı Arıtma Sistemleri Hakkında Sık Sorulan Sorular
Endüstriyel proses gazı arıtma sistemi ne işe yarar?
Yarı iletken, kimya, ilaç, laboratuvar ve fotovoltaik üretiminde oluşan tehlikeli atık/proses gazlarını uygun kimyasal arıtma ortamında tutarak gaz emisyonunu yönetmeye yardımcı olur. Sistem seçimi gaz kimyası, debi, konsantrasyon ve proses güvenliği gerekliliklerine bağlıdır.
CLEANSORB kuru yatak (dry-bed) kimyasal absorpsiyon nasıl çalışır?
Uygun reaktif absorber granülleri, hedef gazlarla kimyasal reaksiyona girerek onları katı ürünlerde bağlar. CS Clean Solutions çoğu CLEANSORB çözümünde oda sıcaklığında pasif proses tasarımı kullanır; gazla uyumlu medyanın seçimi ve kapasite hesabı zorunludur.
CLEANSORB FABLINE ile FABLINE FX arasındaki fark nedir?
FABLINE pilot ve üretim hatlarına uyarlanan standart arıtma ailesidir. FABLINE FX ilave yedek absorber kolonu sayesinde kolon değişimi sırasında proseste süreklilik isteyen uygulamalara odaklanır. Kontrol ve haberleşme seçenekleri de konfigürasyona bağlıdır.
PRIMELINE, FABLINE ve LABLINE hangi uygulamalar için seçilir?
PRIMELINE kritik MOCVD/epitaksi ve gelişmiş güvenlik gerektiren proseslere; FABLINE üretim ve pilot hatların gaz egzozuna; LABLINE küçük laboratuvar ve AR-GE çalışmalarına yönelik konumlandırılır. Nihai seçim kapasite ve gaz risk analizine dayanır.
CLEAN-PROTECT ile CLEANVENT kartuşları aynı işi mi yapar?
Hayır. CLEAN-PROTECT beklenmeyen gaz silindiri/hat salımlarına karşı gaz kabini egzoz tarafında acil durum absorpsiyonu için tasarlanır. CLEANVENT ise normal silindir değiştirme veya bakım sırasındaki purge/artık gazlarını kaynağında arıtmak için kullanılır.
Bu sistemler H₂S, NH₃, HCl, Cl₂, AsH₃ ve PH₃ gibi gazları temizler mi?
CS Clean Solutions farklı gaz ve prekürsörlere yönelik çeşitli kemisorber ortamları sunar. Ancak her absorber her gaza uygun değildir. Hedef gaz, debi, nem, karışım, konsantrasyon ve toplam yük doğrulanmadan belirli gaz için performans veya ömür garantisi verilemez.
Kuru tip gaz arıtma sistemi elektrik, su veya yakıt gerektirir mi?
CLEANSORB kimyasal tutma reaksiyonu genel olarak pasiftir ve arıtma yatağı için yakıt veya suya ihtiyaç duyulmaz. Buna rağmen seçilen kabin, otomasyon, fan, izleme ve özel ön işlem ekipmanlarının enerji ihtiyacı olabilir; bütün sistemin mutlaka enerjisiz olduğu varsayılmamalıdır.
SEMI-S2 sertifikası bütün CLEANSORB modellerinde mevcut mu?
Hayır. Üretici bazı FABLINE/PRIMELINE konfigürasyonlarında SEMI-S2 uyumlu versiyonlar sunduğunu bildirir. Sertifika ve uygunluk kapsamı, seçilecek kesin ürün varyantı ve teslimat belgeleri üzerinden teyit edilmelidir.
Gaz arıtma sistemi seçimi için NOVEL hangi bilgilere ihtiyaç duyar?
Gazların adları ve SDS/MSDS bilgileri, gaz debisi, pik ve normal konsantrasyonlar, proses süresi, borulama ve havalandırma koşulları, istenen güvenlik/izleme özellikleri ve kurulum ülkesi gerekir. Bu bilgilerle üreticiye özel bir ön teknik değerlendirme ve teklif hazırlanabilir.
Teknik ve güvenlik notu: Ürünlerin uygunluğu proses gazı, debi, kimyasal uyumluluk, kullanılan absorber dolgu malzemesi ve tesisin havalandırma/emniyet tasarımına bağlıdır. Bu sayfa seçim rehberidir; proje tasarımı, risk değerlendirmesi veya garanti edilen arıtma veriminin yerine geçmez. Stand-Alone grubu ve CPXXXSF tam model kodu için üretici konfigürasyon teyidi alınmalıdır. NOVEL’in satış/servis yetkisi ayrıca teklif aşamasında doğrulanır.