CS CLEAN SOLUTIONS · Proses gazı arıtma
CLEANSORB PRIMELINE
AsH3, PH3 ve GeH4 gibi kritik MOCVD gazları için özel kimyasal absorban granül medyası
CLEANSORB PRIMELINE serisi, kuru yataklı gaz arıtma sistemleri ailesinin tam donanımlı sürümüdür. Özellikle MOCVD gibi güvenlik açısından kritik ve yüksek debili proseslerin çalışma koşulları için tasarlanmıştır. AsH3, PH3 veya GeH4 gibi gazlara özel CLEANSORB granülleri içerir. Yüksek akışlı silisyum ve III-V epitaksi proseslerinde güvenli ısıl yönetim için optimize edilmiştir. Kızılötesi sıcaklık takibi ve inert gaz soğutması gibi donanımsal güvenlik işlevleri barındırır. Seri bünyesinde yedek kolonlu kompakt PS modelleri ile iki adet tam boy kolon ve bir yedek kolon içeren, dokunmatik ekranlı PD modeli bulunur. İhtiyaç halinde redundant güvenlikli SEMI-S2 uyumlu sürümü mevcuttur.
Teknik Özellikler
AsH3, PH3 ve GeH4 gibi kritik MOCVD gazları için özel kimyasal absorban granül medyası
Kızılötesi sıcaklık takibi ve inert gaz soğutma işlevleriyle optimize edilmiş ısıl yönetim
Kompakt PS modeli veya iki tam boy kolonlu ve dokunmatik ekranlı PD modeli seçeneği
Kullanım Alanları
- Güvenlik açısından kritik Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOCVD) prosesleri
- Yüksek debili (high flow) Silisyum ve III-V epitaksiyel üretim hatları
Konfigürasyon ve Seçim
Absorberin kimyasal reaksiyonu pasif prensiple çalışır; kontrol, fan ve yardımcı donanımlar enerji gerektirebilir. Kapasite, dolgu seçimi, değişim periyodu ve güvenlik seçenekleri gaz bileşimi, konsantrasyon, debi ve sistem konfigürasyonuna bağlıdır. Seçilen yapılandırmayı NOVEL ve üreticiyle doğrulayın.
- Arıtılacak egzoz gazı AsH3, PH3 veya GeH4 gibi piroforik/toksik hidrürler içeriyor mu?
- Yüksek proses gazı akışlarında kızılötesi sıcaklık takibi ve gaz soğutması gerekiyor mu?
- Kompakt yedek kolonlu PS mi yoksa çift tam boy kolonlu PD modeli mi hedefleniyor?