CS CLEAN SOLUTIONS · Proses gazı arıtma
CLEANSORB FABLINE
Kimyasal arıtma reaksiyonunda elektrik, su, yakıt veya ısıtma gerektirmeyen pasif çalışma prensibi
CLEANSORB FABLINE, üretim ölçeğindeki zararlı proses egzoz gazlarının uzaklaştırılması için geliştirilmiş standart kuru yataklı kimyasal adsorpsiyon sistemidir. Kimyasal adsorpsiyon prosesi oda sıcaklığında pasif olarak gerçekleşir; gaz arıtma reaksiyonu için elektrik, su veya yakıt harcanmaz. Sistem, pilot hatlardan tam ölçekli üretim tesislerine kadar uyum sağlayacak üç farklı kolon boyutuna sahiptir. Gövdesi korozyona dayanıklı 316L paslanmaz çelikten üretilmiştir. Kolon değişimlerini kolaylaştıran otomatik basınç tutma testi ve inert gaz tahliyesi işlevleri barındırır. İsteğe bağlı entegre fan ve SEMI-S2 uyumlu sürüm opsiyonları mevcuttur. Yarı iletken endüstrisinde kullanılan yapışkan CLEANSORB granülleri sayesinde proses gazlarında yüksek verimli ve kontrollü arıtma sunar.
Teknik Özellikler
Kimyasal arıtma reaksiyonunda elektrik, su, yakıt veya ısıtma gerektirmeyen pasif çalışma prensibi
Korozyona dayanıklı 316L paslanmaz çelik gövde, otomatik basınç tutma testi ve inert gaz tahliyesi
İsteğe bağlı entegre fan konfigürasyonu ve opsiyonel SEMI-S2 güvenlik uyumluluğu
Kullanım Alanları
- Plazma Aşındırma (Plasma Etching) ve Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) proses egzozları
- ALD (Atomik Katman Biriktirme), İyon İmplantasyonu ve CIGS Fotovoltaik üretim hatları
Konfigürasyon ve Seçim
Absorberin kimyasal reaksiyonu pasif prensiple çalışır; kontrol, fan ve yardımcı donanımlar enerji gerektirebilir. Kapasite, dolgu seçimi, değişim periyodu ve güvenlik seçenekleri gaz bileşimi, konsantrasyon, debi ve sistem konfigürasyonuna bağlıdır. Seçilen yapılandırmayı NOVEL ve üreticiyle doğrulayın.
- Arıtılacak proses gazlarının kimyasal içeriği ve tepe akış debisi nedir?
- Tesis alanınıza 3 farklı kolon boyutundan hangisi uygundur?
- Entegre fan veya SEMI-S2 güvenlik sürümü talep edilmekte midir?